1.引言

1.1.概述
微流體經常被認為是生命科學研究和工業中的游戲規則改變者。然而，盡管在過去的幾十年里做了大量的工作，但它并不像最初預測的那樣是科學進步的先兆，現在更常被稱為“青春期”的一門學科。微流體，即寬/高范圍在100?nm和100?μm之間的系統，是一個近年來進行了大量研究的領域，許多設備現在能夠超越它們的經典祖先，以及允許新功能的新設備的開發，以及對宏觀設備難以捉摸的現象的研究。在這篇綜述中，我們回顧了對微流體產生最大影響的發展，圖1總結了許多關鍵的進展。首先，我們解釋了微觀尺度上的流體物理，以了解支配液體和混合物行為的影響。這些效應解釋了微流體的許多優點，如反應時間更快和運動學簡單。然后，我們將回顧微電子行業中微流體的起源，并了解在復制模壓、壓花和注塑等新技術被開發和調整以更好地適應不斷增長的領域的需求之前，微流體是如何影響早期設備的制造的。制造也取決于材料的選擇。我們再次從歷史的角度來看待這一點，并討論如何選擇材料。

圖1.時間線突出了微流體領域的主要進展，從晶體管的發明開始，導致了3D打印設備的興起。

隨著新的制造技術的出現，微流控器件發生了變化，微流控器件的要求(如光學透明度)意味著諸如硅的材料被玻璃和塑料所取代。最后，我們展望了該領域的最新發展，并討論了未來研究的方向，以確保微流控充分發揮其潛力。

1.2. 微流體物理學

要了解這些微型系統的全部好處，首先要了解這種規模的流體物理，以及這是如何影響它們的行為的。首先，流體系統中慣性力與粘性力的比值由無量綱雷諾數(Re)描述，如Eq. 1所示:

(1）

在這里，ρ是流體的密度，ν是速度，L是系統的特征線性維數，μ是動態粘度。從這個方程可以看出，隨著系統特征維數的減小，雷諾數也隨之減小。當雷諾數下降到2000以下時，系統進入所謂的層流區，層流區與湍流流區有幾個不同(Re > 4000)。首先，層流是高度可預測的，這意味著這些系統的數學建模不那么密集。此外，分子在層流區的傳輸不同于湍流，因為沒有對流混合，只有擴散，這再次導致高度可預測的動力學。在微流控系統中，Re幾乎總是處于層流狀態。除了雷諾數外，Péclet數(公式2)也提供了流體質量傳輸的信息。

（2）

這里D是擴散系數，Pe描述了流體中分子平流與擴散傳輸的比率。由式2可知，減小系統的維數會導致Peclet數的減小。與雷諾數一樣，這意味著系統的動力學更容易預測。其次，流體表面的行為在宏觀和微觀尺度上是不同的。表面張力描述了流體改變其表面與空氣界面以降低其自由能的親和力。界面張力描述了相同的現象，但在兩種不混溶的流體中，例如油在水中。這一現象已經在液滴微流體[6]領域得到了極大的應用，這將在第5.1節中討論。在微觀尺度上，這些力相對于重力(宏觀尺度上的主導力)起主導作用，可以作為一種不需要泵就能驅動流體的方法。第三，隨著特征維數的減小，毛細力也開始支配引力。毛細管力描述了使流體通過多孔材料或狹窄毛細管的力。同樣，在微觀尺度上，這優于重力，并導致許多分析設備的發展，如血糖儀和廉價的懷孕測試，以及紙分析設備(PADs)的發展，也將在后面的章節中更詳細地討論。最后，微流體系統的反應時間比傳統設備快得多。這是由于系統的較小維度導致任何給定分子的擴散時間較短。擴散時間的近似值見式3:

(3)

式中，x是一個溶質分子在時間后沿一個軸行進的距離，t，D是溶質的擴散系數。從上面的方程式中可以明顯看出：

(4)

因此，顯而易見的是，隨著系統的特征尺寸減小，分子在所述系統中擴散所需的時間減少，從而導致微流控裝置中的反應時間更快。當考慮到擴散系數較低的較大分子(如DNA)時，這一點變得越來越重要。考慮到上述現象，研究人員已經能夠在設備中利用這些影響，這些設備可以執行對生物和化學研究具有重要價值的任務。此外，由于體積小，微流控系統也比傳統的流控平臺消耗更少的試劑，使其成為化學品成本問題時的理想工具。例如，血糖儀只需要一小滴血，可以在幾秒鐘內讀出血糖濃度，使患者能夠在自己的家中監測自己的病情并遵守治療計劃。然而，盡管有大量的工作和可能性，微流體并沒有像最初預測的那樣流行起來。“芯片實驗室”式設備的前景是以“實驗室芯片”的方式實現的，缺乏標準化意味著微流體在很大程度上仍然是一種學術研究工具。此外，這些設備的最終用戶和制造商之間的脫節意味著在這些系統的設計中存在大量的解決方案。也就是說，工程師設計和制造了不必要的復雜和復雜的設備，盡管這種設備很少或根本沒有“現實世界”的應用[2，8]。在這篇綜述中，我們回顧了微流控技術的起源，并重點介紹了該領域的主要發展，正是這些技術將微流控技術帶到了今天。

2微流控研究領域的誕生

雖然微流控技術的許多進步都發生在20世紀末，但它的起源與微電子學的起源是相同的。為了提高電話線中使用的機械繼電器系統的可靠性，貝爾電話實驗室的威廉·肖克利、沃爾特·布拉頓和約翰·巴丁于1947年發明了晶體管[9]。在這項工作的基礎上，Jay Andrus為光刻技術申請了專利，該技術以前曾用于創建印刷電路板的圖案，以創建更精細的細節，從而使肖克利、布拉頓和巴丁等半導體設備能夠在硅中制造。這是光刻工藝(如圖2所示)，它后來成為微電子制造的標準。德克薩斯儀器公司的杰克·基爾比(1964年獲得專利)進一步推進了這項工作，他詳細說明了在單個硅晶體中可以制造多少離散元件，如晶體管、電阻和電容器，以形成振蕩器電路。第一個集成電路(IC)的展示帶來了微電子領域的一場革命，并開啟了公司尋求制造更小、更可靠的消費電子產品的“硅時代”。這一點的影響是如此之大，以至于基爾比在2000年被授予諾貝爾獎。

圖2.典型的光刻工藝。工藝包括將光致抗蝕劑在襯底上旋轉到所需的厚度，然后加熱以去除任何溶劑。然后，在曝光后烘焙(如果需要)加速抗蝕劑的固化之前，用紫外光通過光掩模照射抗蝕劑。對于正色調區域，未暴露于輻射的區域在顯影過程中被移除，而對于負色調區域則相反。

隨著硅谷革命的進行，另一項將對未來微流體行業產生重大影響的新技術出現：噴墨打印。雖然理查德·斯威特在1965年首次在工作裝置中實現了這一點，但沃爾特·雷利于1879年首次描述了打印機背后的機械原理。瑞利解釋了不斷下降的流體如何分解成離散的液滴，以最小化它們的表面積(相對于相同體積的柱子)，從而減少表面能量。斯威特通過迫使墨水通過直徑35?μm的振動噴嘴來利用這一現象。當墨水離開噴嘴時，形成離散的液滴，然后由輸入電極充電。然后，液滴落在一個均勻的電場中，在液滴落到紙上之前，電場根據液滴的電荷使液滴偏轉。當紙張在噴嘴下方移動時，可以獲得每個液滴相對于時間的電荷軌跡，斯威特展示了一種能夠進行中頻記錄的示波器，但與基于光學的方法相比，它具有更高的便利性和成本。在這臺示波器的設計和制造過程中，斯威特展示了可以被視為第一個微流控裝置的東西。Bassous等人在這項技術上的進一步工作。1977年在IBM的研究表明，通過光刻(這一工藝已成為硅制造的標準)，可以在單個硅晶片上制造一系列噴墨噴嘴。雖然這不僅有助于噴墨打印機的商業化，使其對消費者來說更實惠和可靠，但這一過程也表明，硅可以用作大規模制造微流控設備的材料。

隨著時間的推移，更廣泛的傳感器和換能器以及更精細的硅光刻和刻蝕技術被開發出來，研究人員開始將注意力轉向使用這些技術來解決電子學問題。分子分析是第一個獲得這種濃度的領域，因為很明顯，最大限度地減少作為當前標準的流體系統的好處可能會導致更強大的設備。

考慮到與微流體相關的現象，斯坦福大學于1979年發表的工作詳細介紹了微尺度氣相色譜系統的設計和制造。在這本開創性的出版物中，特里等人。描述他們的設備，通過光刻和蝕刻步驟的組合制造，如何由一個注射閥和一個1.5?m長的毛細管線圈組成。一種熱導傳感器也是用IC行業開發的技術制造的，它是以批量工藝制造的，并連接到毛細管的末端作為檢測器。當該檢測器與毛細管結合以分離系統中的氣體時，可以對注入氣體混合物的組成提供高靈敏度和特定的分析。此外，本文還詳細介紹了減小毛細管橫截面積如何導致裝置性能的提高--符合1.2節所述的理論。此外，所選閥門的死體積為~4?NL，能夠將小至1?NL的體積注入毛細管，顯示了減小設備尺寸如何導致更低的試劑消耗。盡管這種設備可以在一個5?厘米的硅片上制造(見圖3)，但它的性能仍然可以與當時的標準技術相媲美。這種設備現在被廣泛認為是第一個“芯片實驗室”或“微全分析系統”，盡管這些術語在這一點上還沒有被創造出來。此外，人們普遍認為，這篇論文預示著微流體作為一個獨立領域的真正誕生。事實上，即使在今天，氣相色譜系統仍然符合微量全分析系統的定義，盡管這些標準在這一點上還沒有到位。

圖3.Terry等人描述的氣相色譜系統的照片。裝置由一根長1.5?m的螺旋毛細管柱組成，進樣(右上)和排氣(右)。通過閥門(左上角)控制裝置內的流量，然后在裝置的右側可以看到毛細管線圈和檢測器。B-示意圖，顯示了一個硅片上的所有流體處理部件。