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'關鍵字: 浸沒式光刻機'
- 28nm節(jié)點浸沒式光刻機核心部件之一浸液系統(tǒng)入駐杭州青山湖科技城制造、芯片研制出產兩大集成電路工業(yè)項目龍頭。浸液體系背景：浸液體系是浸沒式光刻機四大核心部件之一，是光刻機打破干式曝光物理極限向更小技能節(jié)點開展的標...2017-08-08 16:38:10
- 一文看懂光刻機小分辨率將得到提升，這就是浸沒式光刻系統(tǒng)的原理。?ASML 率先推出浸沒式光刻機，奠定自身市場地位。林本堅提出浸沒式光刻設想后， ASML開始與臺積...2018-05-16 08:59:54
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